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按敏感芯體材料分為壓電晶體(一般為石英)和壓電陶瓷兩類。壓電陶瓷比壓電晶體的壓電系數(shù)要高,而且各項(xiàng)機(jī)電系數(shù)隨溫度時(shí)間等外界條件的變化相對較小,因此一般更常用的是壓電陶瓷。
按敏感芯體結(jié)構(gòu)形式分為壓縮式、剪切式和彎曲變形梁式。壓縮式結(jié)構(gòu)最簡單,價(jià)格便宜,但是不能有效排除各種干擾;剪切式受干擾影響最小,目前最為常用,但是制造工藝要求較高,所以價(jià)格偏高;彎曲變形梁式比較少見,其結(jié)構(gòu)能夠產(chǎn)生較大的電荷輸出信號,但是測量頻率范圍較低,受溫度影響易產(chǎn)生漂移,因此不推薦使用。
按信號輸出的方式分為電荷輸出式和低阻抗電壓輸出式(ICP)。電荷輸出式直接輸出高阻抗電荷信號,必須通過二次儀表轉(zhuǎn)換成低阻抗電壓讀取,而高阻抗電荷信號較容易受干擾,所以對測試環(huán)境、連接線纜等的要求較高;而ICP型傳感器內(nèi)部安裝了前置放大器,直接轉(zhuǎn)換成電壓信號輸出,所以相對有信號質(zhì)量好、噪聲小、抗干擾能力強(qiáng)、能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離測量等優(yōu)點(diǎn),目前正逐步取代電荷輸出式傳感器。
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電荷型和IEPE/ICP型振動(dòng)傳感器的比較
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